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光學相控陣芯片能夠控制光束空間掃描，在激光雷達、三維掃描、三維成像、激光測距等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。本成果是一種硅和氮化硅混合光波導的，大角度掃描、窄發(fā)散角的光學相控陣芯片，集成了光耦合器、分束器、PN結(jié)型和熱光型相位調(diào)制器、單波導雙光柵單向輻射器等。目前光束發(fā)散角0.021度×0.027度，橫向市場掃描角度可以達到140度，縱向通過調(diào)節(jié)波長，可以達到19度，點點切換時間30微秒，平均功耗小于1微瓦。